工作职责:
1.负责PECVD机台的日常维护,工艺调试;
2.了解相关PECVD薄膜沉积的工艺条件及相关设备的性能参数。能够设计DOE实验,分析工艺参数对膜质的影响,并优化膜质;
3.对PECVD设备相关的RF系统,气体管路系统,温度控制系统以及压力控制系统有基础了解;
4.了解薄膜材料的表征方法,理解仪器大概原理,根据目标要求选择相应的表法;
5.对基础表征方法(如XRD,FTIR,SEM)所得的数据,能高效得到分析结果。
任职要求:
1.本科以上学历,材料、化学、物理、微电子、真空等相关专业;
2.具有团队合作精神;协调沟通能力强;
3.能适应短期出差;
4.有PECVD相关经验者经验优先。